Пароструйные диффузионные насосы

Испытания пароструйных насосов по измерению основных вакуумных характеристик осуществляются на испытательном стенде, схема которого представлена на рис. 9-8.

Измерительный колпак по соотношению высоты и диаметра, а также по месту расположения манометрических преобразователей аналогичен измерительному колпаку для измерения быстроты действия вращательных насосов с масляным уплотнением (см. рис. 9-6). Отличие заключается в том, что «грибковые» соединения заменяются фланцевыми соединениями с металлическим уплотнителем. Стеклянные ловушки с манометрическими преобразователями привариваются к металлическим фланцам через коваровый патрубок. При отсутствии ловушек перед манометрическими преобразователями лучше использовать прогреваемые манометрические преобразователи и устанавливать их в патрубке, как показано на рис. 9-9. Натекатель, установленный на напускной трубке, должен быть прогреваемым и соединяться с ней с помощью фланцевого соединения с металлическим уплотнителем. Когда используется непрогреваемый натекатель, он должен быть вынесен из зоны нагрева на длинной трубке. Внутренний диаметр измерительного колпака должен быть равен условному диаметру входного сечения насоса.

Измерительный колпак присоединяется непосредственно к впускному патрубку насоса. Если испытывается агрегат или диффузионный насос с ловушкой, то измерительный колпак устанавливается соответственно на затворе или на ловушке.

В ходе испытаний измеряют предельное остаточное Давление, быстроту действия и наибольшее выпускное давление. Испытания проводятся в следующей последовательности. Готовятся испытуемый насос и испытательная аппаратура. Монтируется специальный испытательный стенд по схеме рис. 9-8. Достигается и измеряется предельное остаточное давление. Для достижения предельного остаточного давления обязателен прогрев всей высоковакуумной части испытательного стенда, причем завершающую стадию прогрева измерительного колпака желательно проводить при откачке испытуемым насосом и к испытаниям приступать, не выключая его. Последнее делается для того, чтобы предельно снизить газовыделение измерительной аппаратуры и оценить истинные возможности испытуемого насоса. После достижения и измерения предельного остаточного давления приступают к измерению быстроты действия. Процесс измерений был изложен выше в § 1 и 2 настоящей главы. Завершают испытания измерением наибольшего выпускного давления.