Запорно-регулирующая аппаратура

Запорно-регулирующая аппаратура

Запорно-регулирующая аппаратура представляет собой комплекс функциональных средств вакуумных систем, предназначенных для перекрытия газовых потоков, дозирования потоков газа, стабилизации давления газов в вакуумных системах и камерах, аварийной защиты вакуумных систем при разгерметизации и т.д.

Для перекрытия вакуумных потоков используют вакуумные клапаны и затворы, классифицированные по ряду признаков конструктивного и эксплутационного характера (рис. 31).

В качестве натекателей могут применяться пористые материалы, некоторые металлы, проницаемые для отдельных газов, например платина для водорода, серебро для кислорода и т. д. Микрометрическое перемещение иглы в отверстии, изменение зазора между материалами с различными коэффициентами линейного расширения могут быть применены для создания и регулировки больших вакуумных сопротивлений.

Вакуумные краны применяются в установках с малым газоотделе-нием, в линиях предварительного разрежения и в случаях, когда не требуется получения больших проводимостей.

В металлических вакуумных клапанах и затворах, работающих при комнатной температуре, используются резиновые и фторопластовые уплотнители.

Вакуумные затворы для трубопроводов больших диаметров для уменьшения габаритов стараются делать плоской формы, используя механизм параллелограмма с малой длиной кривошипа.

Основные эксплуатационные характеристики затворов:

• — степень герметичности, определяемая потоком натекания газа через уплотнительную пару и составляющая в зависимости от эксплуатационных требований 10^-7 — 10^-11 Па-м³/с;

• — проводимость в открытом положении, определяемая отношением потока газа, проходящего через полость вакуумного клапана, к разности давлений в его входном и выходном отверстиях;

• — быстродействие, определяемое временем герметичного перекрытия;

• — ресурс, определяемый числом циклов перекрытия уплотнительной пары с обеспечением заданной степени герметичности.