Теоретические основы вакуумной техники
Теоретические основы вакуумной техники
Вакуумная система — совокупность взаимосвязанных устройств для создания, повышения и поддержания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также откачиваемых сосудов и связывающих их вакуумных трубопроводов.
Элемент вакуумной системы — прибор, сборочная единица или деталь, предназначенные для выполнения определенных функций в вакуумной системе.
Откачка — уменьшение молекулярной концентрации газа при помощи устройств, удаляющих или поглощающих газ.
Остаточный газ — газ, оставшийся в вакуумной системе после откачки.
Разреженный газ — газ, молекулярная концентрация которого меньше его концентрации при нормальных условиях.
Форвакуум — предварительный вакуум (до 0,1 Па), создаваемый насосом более низкого вакуума перед подключением высоковакуумного насоса.
Вакуумный насос — устройство, предназначенное для создания, повышения и (или) поддержания вакуума.
Вакуумный насос предварительного разрежения (форвакуумный насос) — вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме или откачной системе от атмосферного давления до значения, при котором может начать работу другая откачная система или вакуумный насос.
Низковакуумный насос — вакуумный насос, предназначенный для получения давления в откачиваемом объеме в диапазоне от 105 до 0,1 Па.
Высоковакуумный насос — вакуумный насос, предназначенный для получения давления в откачиваемом объеме менее 0,1 Па.
Манометр — прибор для измерения давлений или разности давлений.
Вакуумметр — манометр для измерения давления разреженного газа или пара.
Термопарный вакуумметр — тепловой вакуумметр полного давления, в котором использована зависимость электродвижущей силы термопары от измеряемого давления.
Ионизационный вакуумметр — вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости ионного тока, возникшего в газе в результате ионизации молекул разреженного газа, от давления.
Ловушка — устройство, в котором парциальное давление компонентов газопаровой смеси понижается механическим, физическим или химическим способом, и уменьшается проникновение паров или газов из одной части откачной системы в другую.