Течеискание – общие сведения

Течеискание – общие сведения

В вакуумной технике под течеисканием понимается совокупность средств, методов и способов обнаружения течей и установления степени герметичности вакуумных систем.

Герметичность — свойство вакуумной системы, заключающееся в непроницаемости для газов и жидкостей внешней оболочки, ограничивающей замкнутый объем. Степень герметичности оболочки системы характеризуется общим потоком воздуха, перетекающего в единицу времени из атмосферы в вакуум через все имеющиеся в оболочке течи при нормальных условиях. Нормальными условиями считаются атмосферное давление, равное 10⁵±4/10³ Па (750± ±30 мм рт. ст.); температура окружающей среды, равная 20±5°С.

Место нарушения сплошности оболочки называют течью. Это обычно микропоры в самом материале оболочки и в сварных швах, риски на рабочей поверхности фланцев и металлических уплотнителей, образующие сквозной канал с выходом на обе стороны оболочки. Величина течи, так же как и степень герметичности, характеризуется потоком воздуха, перетекающего через течь в единицу времени при нормальных условиях.

В вакуумной технике количество газа, натекающего в систему, часто характеризуют произведением объема проникшего газа V на его давление Р. Количество газа, проникшего в систему, деленное на время натекания, определяет поток газа.

В системе СИ основными единицами объема, давления и времени являются метр кубический (м³), паскаль, равный ньютону, деленному на метр квадратный (Па = Н/М²), и секунда (с). Отсюда поток будет выражаться:

До настоящего времени в вакуумной технике, в частности в течеискании, еще широко применяется в качестве единицы измерения потока газа литр на микрон ртутного столба в секунду (л-мкм рт. ст/с), равный 1,33-10~⁴ Вт.

Требования к степени герметичности вакуумной системы определяются величиной максимально допустимою натекания в систему. При контроле герметичности изделия следует различать две основные технологические операции.

• 1) контроль герметичности — технологическая операция, служащая для установления степени герметичности изделия,

• 2) поиск течи—операция, заключающаяся в обнаружении и установлении мест расположения единичных течей.

Для установления степени герметичности системы с одной стороны оболочки подают пробное вещество — газ или жидкость, легко выделяемые (идентифицируемые) в окружающей среде или в составе остаточного газа. С другой стороны, оболочки фиксируют появление и количественное изменение содержания пробного вещества.

По способу создания потока и идентификации пробного вещества различают следующие методы контроля герметичности: метод опрессовки, люминесцентный метод, метод искрового разряда, манометрический метод, галогенный метод, масс-спектрометрический метод [4] и некоторые другие. В вакуумной технике наибольшее распространение получили масс-спектрометрический и манометрический методы в различных модификациях.