Манометрический метод

Манометрический метод

Манометрический метод наиболее прост и удобен для оценки степени герметичности вакуумной системы, имеющей собственные средства откачки и измерения давления, так как не требует специального оборудование Для контроля герметичности может быть использован любой манометрический преобразователь, имеющийся в системе. Этим методом может быть определено суммарное натекание в систему и могут быть выявлены единичные течи.

Для определения суммарного натекания испытуемую вакуумную систему разобщают со средствами откачки и строят график изменения давления в изолированной вакуумной системе. Возможны три зависимости изменения давления во времени в изолированной вакуумной системе. Зависимость 1, изображенная на рис. 7-1, свидетельствует о сильном натекании; зависимость 3 — об отсутствии натекания. В последнем случае изменение давления в вакуумной системе обусловлено газовыделением, которое по мере увеличения давления уменьшается. После достижения динамического равновесия давление в системе стабилизируется. Кривая 2 отвечает условию, когда изменение давления в системе от P_Q до Pi является суммарным результатом газовыделения и натекания. В дальнейшем давление в системе, обусловленное в основном натеканием, увеличивается во времени линейно. Зная объем системы, изменение давления АР на линейном участке кривой и время Д/, за которое произошло изменение давления, легко рассчитать величину суммарного натекания

Для поиска течей могут быть использованы любые манометрические преобразователи, показания которых зависят от рода газа, например электронные ионизационные и теплоэлектрические Поиск течей сводится к следующему. После установления давления в вакуумной системе подозреваемое в натекании место обдувают пробным газом или смачивают жидким проб ним веществом Изменение показанит вакуумметра свидетельствует о наличии течи Наибольший эффект дает работа с жидкими пробными веществами: ацетоном, спиртом и эфирами. Небольшие количества жидкости, проникшие в вакуумную систему через течь, испаряясь в вакууме, резко увеличивают общее давление в системе

Поиск течей с помощью жидких пробных веществ наряду с большой эффективностью имеет свои неудобства. Подъем жидкости по капилляру малых течей, меньших 10~⁷ Вт (10~³ л-мкм рт. ст/с), происходит за время от нескольких минут до нескольких часов. Поэтому вакуумметр может среагировать на пробное вещество в тот момент, когда будет обследоваться уже другой участок поверхности Тем самым возникнет ложное представление о месте расположения течи Чтобы убедиться в правильности обнаружения места расположения течи, удаляют пробное вещество (если имеется возможность, прогревают контролируемую поверхность, например, легким пламенем горелки) и после установления давления в системе повторяют испытания

Работа с газообразными пробными веществами не так эффективна меньше изменение показаний вакуумметра, но реакция вакуумметра на газ возникает практически мгновенно в силу высокой проникающей способности газа

Минимальная величина течей, выявляемых манометрическим методом, зависит от общего давления в системе, которое в данном случае является фоном По мере обнаружения и устранения течей установившееся давление в системе понижается и соответственно повышается вероятность обнаружения все более малых течей

Поиск течей целесообразно вести, когда стрелка показывающего прибора вакуумметра находится в конце шкалы прибора Если стрелка вакуумметра находится в начале шкалы, целесообразно несколько снизить быстроту откачки, прикрыв высоковакуумный затвор, и переключить вакуумметр на более грубый диапазон При этом относительная минимальная регистрируемая величина изменения показаний вакуумметра будет увеличена.