Магнитные электроразрядные и геттерно-ионные насосы
Магнитные электроразрядные и геттерно-ионные насосы
Испытания магниторазрядных, геттерных и геттерно-ионных насосов имеют ту особенность, что измерение потока газа при измерении быстроты действия насосов обычно производится с помощью диафрагмы. Измерительный колпак в этом случае состоит из измерительной и напускной камер, разделенных диафрагмой. Напускная камера фактически является стандартным измерительным колпаком, с помощью которого, например, производится измерение быстроты действия диффузионных насосов, предназначенных для применения в прогреваемых системах. Измерительная камера отличается о" напускной тем, что вместо торцевой стенки с напускной трубкой имеется фланец, «ответный» фланцу напускной камеры, и высота ее равна 1 D.
Испытания проводятся на стенде, схема которого показана на рис. 9-10. В ходе испытаний измеряют предельное остаточное давление, быстроту действия, наибольшее рабочее давление и наибольшее давление запуска. Последовательность испытаний по определению предельного остаточного давления и быстроты действия такая же, как и при испытаниях диффузионных насосов. В конце испытаний по определению быстроты действия производят измерение наибольшего давления. Завершают испытания измерение наибольшего давления запуска. Методика и последовательность испытаний при измерении наибольшего рабочего давления и наибольшего давления запуска были изложены в § 1 настоящей главы.
Аналогично проводятся испытания геттерных насосов. Когда возникает необходимость в измерении основных вакуумных характеристик при откачке определенного газа к натекателю, на измерительном колпаке присоединяют систему напуска пробного газа. Перед испытаниями промывают систему пробным газом. Промывка заключается в том, что в работающий насос через натекатель 4 (рис. 9-10) подают пробный газ до давления в измерительном колпаке около 10-4 Па (10~6 мм рт. сг.). Дают насосу некоторое время поработать в этом режиме, после чего приступают к измерению вакуумных характеристик. Последовательность и методика измерений остаются прежними.
