Методы испарения (распыления) геттера

В возобновляемых геттерах поглощение газа идет по поверхности мелких кристаллов конденсированной пленки. Быстрота откачки максимальна в начале процесса и падает по мере насыщения геттера. При близких значениях величины потоков газа и геттера достигается диапазон давлений 10^-3-10^-5 Па, а когда поток геттера существенно больше — 10-10^-12 Па. Для достижения более низких давлений поверхность геттера охлаждают жидким азотом (77 К, или -196 °С).

Нанесение геттера из газовой фазы производится следующими методами:

• 1) испарение металла резистивным нагревательным элементом или плазмой, получаемой электронно-лучевым нагревом); применяется в насосах марки СТОН, НИБ, ОГИН;

• 2) распыление геттера ионной бомбардировкой; применяется в насосах НМД (НМДИ);

• 3) электроискровое и электродуговое испарение; применяется в насосах ВЭД.

В испарительно-геттерных насосах геттер (в основном титан) нагревается до температур 1100-1400 °С (1373-1673 К), в зависимости от требуемой скорости испарения и типа испарителя. Существуют насосы с твердофазным (Т испарителя меньше Т плавления геттера) и жидкофазным (Т испарителя больше Т плавления геттера) испарителем.